Сегодня, 9 июля, в 355-й аудитории 8-го корпуса Казанского национального исследовательского технического университета имени А. Н. Туполева — КНИТУ-КАИ пройдет открытый научный семинар, организованный научно-учебной лабораторией аддитивных лазерных технологий кафедры ЛАТ физико-математического факультета. В качестве спикера выступит доктор технических наук, профессор Центра инженерной физики Сколковского института науки и технологий Сергей Косолобов.
В рамках семинара будет представлен доклад на тему «Высокотемпературные атомные процессы на границе и в объеме элементов кремниевой интегральной фотоники». В своем выступлении профессор Косолобов осветит ключевые аспекты высокотемпературных процессов, которые играют важную роль в технологии кремниевой интегральной фотоники. Эти процессы определяют структурное совершенство материалов и качество границ раздела, что, в свою очередь, оказывает значительное влияние на оптические характеристики фотонных интегральных элементов.
Среди рассматриваемых тем – термическое окисление, высокотемпературный отжиг, активация легирующих примесей, рекристаллизация и эпитаксиальный рост. Эти процессы являются базовыми при формировании таких важных компонентов, как волноводы, резонаторы и фотодетекторы, используемые в фотонных интегральных схемах. Вместе с тем, высокие температуры приводят к интенсивной диффузии примесей, генерации и эволюции точечных дефектов, а также изменению шероховатости поверхности. Эти факторы могут как улучшать, так и ухудшать оптические характеристики устройств.
В своем докладе Сергей Косолобов подробно проанализирует атомные процессы, происходящие как на поверхности, так и в объеме кристаллов. Он также обсудит процессы зарождения, диффузии и аннигиляции точечных дефектов на границе раздела «кристалл – вакуум», а также в условиях высокотемпературного осаждения металлов и их взаимодействия с газовой атмосферой.
Семинар открыт для всех желающих, включая научных сотрудников, аспирантов и студентов КНИТУ-КАИ, а также для всех, кто интересуется современными научными достижениями. Начало мероприятия запланировано на 13:00. Место проведения – 8-е учебное здание КНИТУ-КАИ, аудитория 355. Координатором семинара выступает София Березина, с которой можно связаться по электронной почте: BabinaSV@stud.kai.ru.
Сергей Сергеевич Косолобов, ведущий специалист в области кремниевой интегральной фотоники, является выпускником физического факультета Новосибирского государственного университета. Он защитил диссертацию на степень доктора физико-математических наук в Институте физики полупроводников им. А.В. Ржанова (СО РАН, Новосибирск). Основные направления его исследований охватывают такие области, как кремниевая интегральная фотоника, наноструктурирование, инжиниринг точечных дефектов и атомные процессы на поверхности и в объеме кристаллов.